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HCO N2-04 – HELLER固化炉

HELLER固化炉 HCO N2-04 photo

HELLER固化炉HCO N2-04通过在线处理为面板级应用提供高生产率,具有高达4个Magazine容量

  • 固化炉尺寸,包括装载机(mm):5,670[W] x 2,470[D] x 2,210[H]
  • 4个Magazine容量(510x515mm面板)
  • 最高工作温度:200⁰ C
  • 氧浓度降至100ppm的氮气环境
  • 洁净室等级 1000
  • 内部输送机
  • SECS/GEM
  • 温度均匀性 ±3°C

HCO N2-04是有4个Magazine容量的惰性气氛固化炉

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Heller Industries, Inc.

上海市松江区民强路227号C栋

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