HCO N2-04 – HELLER固化炉

HELLER固化炉HCO N2-04通过在线处理为面板级应用提供高生产率，具有高达4个Magazine容量

• 固化炉尺寸，包括装载机（mm）：5,670[W] x 2,470[D] x 2,210[H]
• 4个Magazine容量（510x515mm面板）
• 最高工作温度：200⁰ C
• 氧浓度降至100ppm的氮气环境
• 洁净室等级 1000
• 内部输送机
• SECS/GEM
• 温度均匀性 ±3°C

HCO N2-04是有4个Magazine容量的惰性气氛固化炉