全自动压力固化炉 – PCO 1300

全自动压力固化炉，300mm EFEM。

• 固化炉尺寸（mm）： 2，200[W] x 2，200[D] x 2，475[H]
• 腔室可用面积（mm）： 560[W] x 680[D] x 480[高H]
• 最大工作压力：20 bar （290 psi）
• 最高工作温度：260⁰ C
• 启用氮气（可选）
• 洁净室等级 100（可选）
• 真空度低至 5 Torr（可选）
• 全自动装载EFEM（300mm晶圆）