压力固化炉 – PCO 860
Heller压力固化炉利用压力腔体来减少空洞并提高粘接强度。
该工艺通过取消某些预固化步骤（如预烘烤和等离子处理步骤）来简化流程。
Heller PCO可选配真空腔体，以实现更短的整体循环时间。
在保持腔体内恒定压力的同时，空气（或氮气）在对流加热模块中被加热。
加热后的空气由高可靠性风机电机驱动，在压力腔内持续循环，为产品提供稳定一致的加热效果。
亮点：
稳定温度
通过真空去除有毒气体
TIM工艺的高温高压选项
规格
| 烤箱尺寸（宽×长×高 mm） | 1,700 x 2,200 x 1,807 |
| 最高工作温度（°C） | 200 |
| 最高工作压力（kgf/cm²） | 10 |
| 真空选项（可选） | 0.1/ 10/ 100 torr + 时间条件 例如）760 torr→10 torr/ 5 min |
| 洁净室等级 | 适用于 Class 10000/ 1000/ 100 |
| 认证 | SEMI S2/S8, ETL, CE, NEPA 等 |
